日前，北京化工大學等多家單位完成的“高端化學品及集成電路用電子化學品制造關鍵技術研究與應用”項目，在北京通過了中國石油和化學工業聯合會(簡稱“中國石化聯”)組織的科技成果鑒定。記者了解到，北京化工大學教授李群生帶領團隊針對國家戰略需求，研發了高端化學品及集成電路用電子化學品制造關鍵技術，并成功實現產業化應用，成為科技創新和產業創新深度融合的典型案例。
據介紹，該項目在多個領域取得了一系列重大創新成果。根據鑒定意見，該項目建立了精餾塔內氣液兩相流的數學模型，研發了IP型高效填料和導向復合塔板，填料分離效率提高了37.5%～50%，塔板分離效率達到75%～85%；發明了反應除雜技術，利用紫外線光源將四氯化硅中極少量的三氯氫硅反應為四氯化硅，產品純度達到99.9999999%(9N級)；開發了等離子反應合成技術，實現乙硅烷的定向合成，得到99.99999%(7N級)乙硅烷。
同時，該項目發明了精餾—連續多級逆流分布結晶技術，應用于對二氯苯-鄰二氯苯等分離，產品純度≥99.999%；開發了優化結構的雙載體吸附系統，與精餾及其他分離技術耦合，實現對雜質的深度脫除，生產出99.999999%(8N級)四氯硅烷；開發了高效抗雜質滲入技術，實現了電子化學品生產設備的超潔凈防護。其中，電子級氫氟酸單個金屬離子雜質含量降至5ppt以下，突破G5標準要求。
據了解，該項目不僅在科技創新方面屢獲突破，在產業化應用領域也收獲累累碩果。項目成果已在多家企業獲得廣泛應用，并生產出百余種產品，取得了顯著的經濟效益、社會效益和環境效益。
